Perfluoroether גומי (FFKM)הוא חומר איטום מצוין. בגלל הביצועים המעולים שלו, הוא מצא שימוש נרחב בכל מערכת ייצור המוליכים למחצה. אחד החומרים המתכלים העיקריים הנדרשים לייצור מעגלים משולבים הוא טבעות איטום פרפלואורו.
המונומרים העיקריים בגומי perfluoroether הם tetrafluoroethylene ו-perfluoroalkyl vinyl ether, אשר עוברים קופולימר עם כמות קטנה של מונומרים שלישיים עם נקודות גיפור. זהו גומי שאינו מכיל קשרי CH כלל. תכולת הפלואור של המבנה המולקולרי שלו, המבנה והתכולה של אתר ויניל פרפלואור, אנרגיית הקשר וכמות הקשרים המצליבים בתהליך הגיפור כולם משפיעים על הביצועים של התרכובת הגופרת וטמפרטורת מעבר הזכוכית. המבנה והרכיבים שונים, וכך גם הביצועים שלהם. להלן מאפייני הביצועים העיקריים של גומי perfluoroether:
1) מאפיינים פיזיקליים: הצפיפות היא 1.9-2.0g/cm3, המאפיינים הפיזיקליים והמכניים דומים ל-fluorober, וערכת הדחיסה בטמפרטורה גבוהה עדיפה על fluororober.
2) עמידות כימית: היא עמידה כימית.
3) עמידות לטמפרטורות גבוהות ונמוכות: טמפרטורת הפעולה היא בדרך כלל 260290 מעלות, אך ניתן להשתמש בה לסירוגין ב-316 מעלות. Tg (טמפרטורת מעבר זכוכית) של חלק מגומי פרפלואורו-אתר הוא -19 מעלות.
4) עמידות בפני קיטור בטמפרטורה גבוהה.
5) משקעים ושחרור נמוכים.
6) עמידות בפני פלזמה.
יש לו מאפיינים של ניקיון גבוה ומשקעים נמוכים בסביבת הפלזמה, והוא יכול לעמוד בפני השפעת פלזמה לאורך זמן.האמינות של אטמי האלסטומר היא קריטית בייצור מוליכים למחצה, ועלות הפסקת הייצור להחלפת אטמים היא גבוהה ביותר. הדרישות לניקיון וטוהר החותמות הן מחמירות ביותר על מנת למנוע סיכונים פוטנציאליים. יחד עם זאת, האטמים חייבים להיות מסוגלים לעבוד במשך תקופה ממושכת בלחץ של ואקום גבוה, גזים כימיים קורוזיביים וסביבת טמפרטורה גבוהה.
חומרי גלם גומי פרפלואורו-אתר הם יקרים והם נמצאים בשימוש נפוץ בייצור מוליכים למחצה. הוא עמיד בפני קורוזיה פלזמה, קורוזיה גזים, קורוזיה חומצה ואלקלית, קורוזיה בטמפרטורה גבוהה, דרישות ניקיון גבוהות לאטמי גומי, עוזר לשמור על שלמות האיטום, מפחית את זמני התחזוקה ומשפר את הבטיחות, ומהווה את האיטום הטוב ביותר לייצור מוליכים למחצה חוֹמֶר.